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| 国家微电子材料与元器件微分析中心 | |
| 所在城市 | 上海 |
| 所在类目 | 教育培训 |
| 联系电话 | 021-55664577 |
| 详细地址 | 上海邯郸路220号复旦大学材料一楼 邮编:200433 |
| 网站网址 | |
| 简介说明 | 微分析技术是八十年代发展起来一门高新技术。它综合采用了电子束、离子束、激光束和X光束等近代分析技术,对微电子材料、工艺和器件进行纳米级的微区结构和形貌观察,几亿分之一的微量杂质的分析,已成为微电子产业发展必不可少的技术支撑。位于复旦大学内的“国家微电子材料与元器件微分析中心”由装备精良的六个分析室组成,拥有新型大、中型分析仪器近二十台(套),高、中级技术人员三十名。经国家重点投资建设和联合国开发计划署项目的援助,“中心”已成为分析手段齐备,人员配套,能为微电子产业和科研提供全面微分析服务的国家级中心。近年来“国家微分析中心”承担了多项国家重点科技攻关项目,有2O余项单项成果通过鉴定,获得多项奖励。几年来为近百家企业、研究所和大学提供了材料表征、工艺诊断、器件结构和设计剖析、失效分析等方面的微分析服务,样品分析量达2000个/年,对我国的电子信息产业起到了有力的技术支撑作用,在有关单位产生了可观的经济效益。国家微分析中心热忱欢迎有关单位前来进行技术交流、送样分析和建立各种形式的合作关系。 |
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